레이저
COMPex
강력하고 다목적 도구인 UV 레이저는 높은 펄스간 안정성과 탁월한 빔 균일성으로 수백 밀리줄의 펄스 에너지를 제공합니다.
다목적 엑시머 레이저의 성능 및 수명 표준을 설정하는 COMPex는 펄스 레이저 증착(PLD), 웨이퍼 분리, Lift-off(LLO), 고체 샘플링 시스템(LA-ICP-MS), 피복 제거 및 FBG 쓰기 같은 까다로운 용도에서 우수한 결과를 제공합니다.
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COMPex 성능 매개변수 개요
통합이 용이한 소형 엑시머 레이저와 단상 전원. 최대 펄스 에너지가 최대 750mJ인 10~100Hz에서 최대 반복률을 선택할 수 있습니다.
제품 사양
| 모델명 | 출력 파장(nm) | 최대 펄스 주파수(Hz) | 최대 펄스 에너지(mJ) | 최대 출력(W) |
|---|---|---|---|---|
| COMPex F2 | 157 | 50 | 32 | 1.6 |
| COMPex 50 | 193 | 50 | 100 | 4 |
| COMPex 102 | 20 | 240 | 4.8 | |
| COMPex 110 | 100 | 240 | 12 | |
| COMPex 201 | 10 | 400 | 4 | |
| COMPex 205 | 50 | 400 | 15 | |
| COMPex F2 | 50 | 400 | 15 | |
| COMPex 50 FBG | 248 | 100 | 140 | 12 |
| COMPex 50 | 50 | 150 | 7 | |
| COMPex 102 | 20 | 400 | 8 | |
| COMPex 110 | 100 | 400 | 30 | |
| COMPex 201 | 10 | 750 | 7.5 | |
| COMPex 205 | 50 | 750 | 33 | |
| COMPex 102 | 308 | 20 | 250 | 5 |
| COMPex 110 | 100 | 250 | 16 | |
| COMPex 201 | 10 | 500 | 5 | |
| COMPex 205 | 50 | 500 | 20 | |
| COMPex 102 | 351 | 20 | 200 | 4 |
| COMPex 110 | 100 | 200 | 12 | |
| COMPex 201 | 10 | 300 | 3 | |
| COMPex 205 | 50 | 300 | 15 |
