激光系统

eM15 单晶金刚石切割系统

为切割天然和合成单晶金刚石和 CVD 晶圆提供具有小锥度和卓越表面质量的深切割。

以专有方法使用脉冲绿光激光器可以快速、精确地切割金刚石,从而消除了传统锯切速度慢且易损坏的风险。 是窗户、散热器、精密工具、声波应用、珠宝等应用场合的理想选择。

eM15 – 切割单晶金刚石和 CVD 晶圆

eMicro 软件简化了操控。 只需选择您需要的自动化水平和轴数,包括为 4、5 轴型号选择相应的旋转轴。

产品规格

型号选项

激光器详情

最大 (XY) 工作区 (mm)

固定区域 (mm)

典型应用

局部荷载

最大 XY 扫描速度 (mm/min)

3 轴

15 W 绿光 (532 nm) DPSS 激光器

200 x 200

150 x 150

2D (XY) 切割

手动,定制自动化

2000

4 轴

D50 x 100

成形 (3D) 切割

5 轴